Distribution of impurities in base-depleted region of diode temperature sensor

Автор(и)

  • R. R. Bebitov Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • O. A. Abdulkhaev Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • D. M. Yodgorova Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • D. B. Istamov Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • Sh. M. Kuliyev Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • A. A. Khakimov Physical-Technical Institute of Uzbekistan Academy of Sciences, Tashkent 100084, Uzbekistan
  • A. B. Bobonazarov Turin Polytechnic University in Tashkent, Tashkent 100095, Uzbekistan
  • A. Z. Rakhmatov “FOTON” Joint Stock Company, Tashkent 100047, Uzbekistan

DOI (Low Temperature Physics):


https://doi.org/10.1063/10.0025635

Ключові слова:

temperature sensors, epitaxy, diffusion, temperature treatment, distribution of impurities

Анотація

Продуктивність діодних сенсорів температури залежить від товщини їх збідненої області та профілю розподілу домішок. У цій статті досліджено процес дифузії атомів бору в тонкій області прошарку товщиною близько 1 мкм. Показано, що для запропонованої p+–n–p-структури сенсора температури розподіл домішок в n-області має форму асиметричної параболи, причому крайня точка концентрації зміщена в бік «верхньої» p+-області.

Downloads

Опубліковано

2024-03-26

Як цитувати

(1)
R. R. Bebitov, O. A. Abdulkhaev, D. M. Yodgorova, D. B. Istamov, Sh. M. Kuliyev, A. A. Khakimov, A. B. Bobonazarov, and A. Z. Rakhmatov, Distribution of impurities in base-depleted region of diode temperature sensor, Low Temp. Phys. 50, 418–424, (2024) [Fiz. Nyzk. Temp. 50, 458–464, (2024)] DOI: https://doi.org/10.1063/10.0025635.

Номер

Том 50 № 5 (2024)

Розділ

Техніка і методи низькотемпературного експерименту

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають