Superconducting NbN–Al hybrid technology for quantum devices

Автор(и)

  • E. Mutsenik Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • S. Linzen Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • E. Il’ichev Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • M. Schmelz Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • M. Ziegler Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • V. Ripka Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • B. Steinbach Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • G. Oelsner Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • U. Hübner Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany
  • R. Stolz Leibniz Institute of Photonic Technology, Jena 07745, Germany

DOI:

https://doi.org/10.1063/10.0016481

Ключові слова:

тонкі плівки нітриду ніобію, надпровідні пристрої, джозефсонівський перехід, осадження атомних шарів

Анотація

Висока кінетична індуктивність тонких плівок нітриду ніобію NbN може бути використана для реалізації компактних індуктивностей на кристалі у кріоелектронних схемах. Вперше продемонстровано реалізацію гібридної надпровідної технології, що містить виготовлення стандартних алюмінієвих субмікронних джозефсонівських переходів та процес осадження атомного шару NbN. В якості прикладу виготовлено та охарактеризовано поодинокий та масивний Al джозефсонівські переходи разом з NbN-з’єднаннями. Основні параметри Al джозефсонівського переходу, а також надпровідні властивості NbN добре узгоджуються зі значеннями, отриманими за стандартним технологічним процесом виготовлення. Поєднання технологічних процесів отримання шарів NbN з Al джозефсонівським переходом надає можливість реалізувати нове покоління інноваційних надпровідних приладів різного призначення.

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Downloads

Опубліковано

2023-01-27

Як цитувати

(1)
Mutsenik, E.; Linzen, S.; Il’ichev, E.; Schmelz, M.; Ziegler, M.; Ripka, V.; Steinbach, B.; Oelsner, G.; Hübner, U.; Stolz, R. Superconducting NbN–Al Hybrid Technology for Quantum Devices. Fiz. Nizk. Temp. 2023, 49, 98–101.

Номер

Розділ

Статті

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають